1、自動(dòng)對(duì)焦功能。配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率；
2、具有焦點(diǎn)距離切換功能，適用于有凹凸的機(jī)械部件與電路板的底部進(jìn)行測(cè)量；
3、多種修正功能。基材修正、已知樣品修正、人工輸入修正；
4、選用Mo靶材X射線管，測(cè)量貴金屬更靈敏；
5、鹵素?zé)粽彰鳎?/span>
6、膜厚儀采用檢量線法和FP法，兩個(gè)準(zhǔn)直器可自動(dòng)切換，采用激光自動(dòng)對(duì)焦，并配備有Z軸防沖撞傳感器，可防止在對(duì)焦時(shí)造成的損壞； 7、其支持多種語(yǔ)言的軟件系統(tǒng)。簡(jiǎn)體中文、繁體中文、英語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)；
8、搭載樣品尺寸的兼容性可適用于各種樣品，能夠通過一臺(tái)儀器測(cè)量，從電子部件、電路板到機(jī)械部件等高度較高的樣品，從較厚的樣品 (機(jī)械零部件)之大型線路板(PCB)及電子元器件等；
9、即時(shí)生成測(cè)量報(bào)告的便捷性。可以簡(jiǎn)單輕松得到制作報(bào)告；
10、是搭載了電動(dòng)Ｘ－Ｙ移動(dòng)平臺(tái)。
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